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VIS-VUV-Ellipsometrie

Ellipsometrie vom sichtbaren Spektrum bis zum Vakuum-Ultraviolett-Bereich

Ansprechpartner

Prof. Dr. Norbert Esser

Kurzbeschreibung

Die Methode ermöglicht die referenzfreie Bestimmung von Brechungsindex, Absorptionskoeffizient und strukturellen Eigenschaften der Probe mittels Polarisations-empfindlicher optischer Messmethoden. Eine Anwendungsmöglichkeit ist zum Beispiel die Untersuchung elektronischer Anregungen in neuen Materialien und dünnen Schichten mit einer Dicke vom Mikrometer-Bereich bis hin zu atomaren Schichten. Die Messungen liefern Details zu elektronischen Eigenschaften, Kristallinität und Struktur.

Das Gerät wird in Kooperation mit der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) betrieben und ist an der Metrology Light Source der PTB angesiedelt.

Art des Angebots

Methode/Kompetenz

 

Anschrift

  • Bunsen-Kirchhoff-Str. 11
  • 44139 Dortmund

Ansprechpartner

 
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