Transferangebote:

 

Aktive Thermosonde

 

Optimierung von Plasmaprozessen mit Hilfe der kontinuierlichen Messung des Energieeintrages.

Ansprechpartner

Dr. Volker Brüser, brueser@inp-greifswald.de

Kurzbeschreibung

Um die gewünschten Substrateigenschaften optimal herzustellen, ist die Charakterisierung, Regelung und Überwachung der Plasma-prozesse entscheidend. Ein maßgeblicher Parameter für die am Substrat ablaufenden Prozesse und Reaktionen ist der Energieeintrag. Er setzt sich aus der Energie der ankommenden Partikel oder Spezies sowie weiteren Anteilen (Wärmestrahlung etc.) zusammen.
 
Die Aktive Thermosonde misst kontinuierlich und richtungsabhängig den Energieeintrag am Substrat und ermöglicht so die Bestimmung der Korrelation mit den Schicht- oder Oberflächeneigenschaften.
 
Da die Sonde sehr empfindlich auf Änderungen der Prozessparameter reagiert, ist sie besonders zur kostengünstigen Qualitätssicherung in industriellen Prozessen oder zur Beantwortung von Forschungsfragen geeignet. Die Charakterisierung, Regelung sowie Überwachung von Plasmaprozessen gerade in F&E wird durch eine größere Auswahl der einstellbaren Parameter erleichtert.
 
  • Vollständig vakuumtauglich und temperaturbeständig bis 450°C
  • Energieeinströme bis 2 W/cm² richtungsabhängig messbar mit einer Auflösung von 1 mW/cm²
  • Variable Gesamtlänge und Geometrie (Durchführungen etc.)
  • Inkl. Softwarepaket für Steuerung und Auswertung
  • Installation und Begleitung bei Prozessoptimierung 
Die Aktive Thermosonde steht im Prototypenstatus zur Verfügung. Auf Anfrage sind auch Messungen vor Ort möglich.

Art des Angebots

Dienstleistung, Geräteausstattung/Infrastruktur

Angebot ist interessant für

Industrie und Forschung, bei Bedarf auch Vorort-Messungen

 

Anschrift

  • Felix-Hausdorff-Straße 2
  • 17489 Greifswald

Ansprechpartner

  • Dr. Hans Sawade
  • Stabsleitung / Head of Management Support
  • Tel.:+49 3834 554 3899
  • Fax.:+49 3834 554 301
  • [E-Mail-Adresse versteckt]
 
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