Schnellzugriff
Im INP stehen Verfahren zur plasmachemischen Oberflächenbehandlung von pulver- und faserförmigen Materialien zur Verfügung.
Um eine möglichst gleichmäßige Oberflächenbehandlung zu erreichen, ist es notwendig das Schüttgut während der Behandlung zu bewegen.
Dazu werde um Drehtrommel- und Wirbelschichtreaktoren, sowie um Reaktoren mit rotierendem Drehteller eingesetzt.
Als Plasmaquellen werden HF- und MW- sowie Sputterquellen eingesetzt.
Methode/Kompetenz